KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Научные приборы Инноватинг

Переростать в первоклассные предприятия

Главная страница ПродукцияНасос Турбомолекулар

Насос водяного охлаждения Turbomolecular/Levitated Magentically насос на регуляторе

Сертификация
Китай KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Сертификаты
Китай KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Сертификаты
Оставьте нам сообщение

Насос водяного охлаждения Turbomolecular/Levitated Magentically насос на регуляторе

Water Cooling Turbomolecular Pump / Magentically Levitated Pump On Board Controller
Water Cooling Turbomolecular Pump / Magentically Levitated Pump On Board Controller

Большие изображения :  Насос водяного охлаждения Turbomolecular/Levitated Magentically насос на регуляторе

Подробная информация о продукте:
Место происхождения: Китай
Фирменное наименование: KYKY
Сертификация: CE
Номер модели: КСФ-320/3001Э
Оплата и доставка Условия:
Количество мин заказа: 1
Упаковывая детали: Деревянная коробка для международной пересылки
Время доставки: 4weeks
Условия оплаты: T / T, L / C
Подробное описание продукта
Подшипник: магнитный Скорость откачки: N2 3200L/s
Охлаждать: вода Фланец: ISO-F
Регулятор: На
Высокий свет:

насосы турбо молекулярные

,

турбомолекулар вакуумный насос

Maglev Pump, CXF-320 / 3001E, Водяное охлаждение, ISO-F, Бортовой

Электромагнитный подшипник также называют «активными магнитными левитированными медведями», состоящими из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Эта конструкция имеет динамический отклик и своевременную регулировку, высокоскоростной вал и надежную работу.

Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, чей вал поддерживается магнитной силой.

Серийные молекулярно-левитированные молекулярные насосы - это оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.

Преимущества:

1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление

2. Легко получить действительно чистый высокий вакуум и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов

3. Способен извлекать едкие газы на длительный срок

4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с помощью прецизионных керамических шариков.

5. функция генерации энергии при внезапном отключении питания

6. без трения

7. Без загрязнения

8. Без обслуживания

9. Низкая вибрация

10. устанавливается в любой ориентации.

Приложения:

Серийные магнитно-левитированные молекулярные насосы в основном применяются в областях производства полупроводников, зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре.

Характеристики:

модель CXF-320/3001
Скорость насоса (л / с, воздух) 3200
Степень сжатия > 1 × 10 8
Предельный вакуум (Па) ≤5 × 10 -7
Впускной фланец ISO-F 320
Выходной фланец KF 40
Скорость вращения (об / мин) 24000
Время запуска (мин) 12
VIB (мм) <0,05
Поддерживающий насос (л / с) 15
Монтаж или презентация любой
Метод охлаждения вода
Вес (кг) (с контроллером) 75

технологии:

  • Технология управления для магнитного подшипника: 5-осевая магнитная левитация, основанная на передовой международной теории управления, для обеспечения таких значительных преимуществ высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
  • Технология управления приводом двигателя: Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающие максимальную энергию двигателя и автоматически компенсирующие скорость вращения вала, обеспечивая тем самым стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии. ,
  • Углеродная композитная роторная технология: изготовлена ​​путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. характеризуется значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, благодаря чему достигаются цели с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
  • Устойчивая к коррозии технология: Поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, инертные газы, такие как N2, полностью заполнены в валу насосов для защиты деталей низкого вакуума в насосах, так что обеспечивается функция стабильного выпуска агрессивных газов в течение длительных периодов времени.
  • Система контроля температуры нагрева: оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры, во время работы можно контролировать и контролировать тепло, переносимое защитными газами, охлаждающую воду, нагрев воздуха, переносимый защитными газами, температуру в насосах можно поддерживать на некотором уровне В долгосрочной перспективе некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, и могут быть соблюдены требования к специальному процессу, например травлению.

Контактная информация
KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Контактное лицо: sales

Телефон: +8613810212935

Оставьте вашу заявку (0 / 3000)

Другие продукты