|
Подробная информация о продукте:
Оплата и доставка Условия:
|
Фланец: | ISO-K/CF DN200 | Охлаждать: | Вода |
---|---|---|---|
Смазка: | Maglev | Скорость откачки: | N2 1400L/s |
Высокий свет: | насосы turbo молекулярные,turbomolecular вакуумный насос |
Насос Маглева, CXF-200/1400, водяное охлаждение, ISO-K / CF, внешний контроллер
Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, чей вал поддерживается магнитной силой.
Серийные молекулярно-левитированные молекулярные насосы - это оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.
технологии:
Преимущества:
1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление
2. Легко получить действительно чистый высокий вакуум и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов
3. Способен извлекать едкие газы на длительный срок
4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с помощью прецизионных керамических шариков.
5. функция генерации энергии при внезапном отключении питания
6. без трения
7. Без загрязнения
8. Без обслуживания
9. Низкая вибрация
10. устанавливается в любой ориентации.
Приложения:
Извлечение агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, которые легко коагулируются при нормальной температуре в областях производства полупроводников, изготовления зажимов, промышленного покрытия и научных инструментов.
Характеристики:
Фланец (В) | DN200 CF / ISO-K, ISO-F |
Фланец (Out) KF | DN40 |
Скорость откачки (л / с) | N 2 : 1400 |
Ar: +1360 | |
Он: 880 | |
H 2 : 560 | |
Степень сжатия | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Он: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Предельное давление (Па) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Максимум. Непрерывное форвакуумное давление (Па) | 100 |
Максимум. Форвакуумное давление | N 2 : 210 |
Газ по всему (м.кв.) | N 2 : 2700 |
Ar: 980 | |
Он: 2000 | |
H 2 : 1800 | |
Скорость вращения (об / мин) | 30000 |
Время запуска (мин) | ≤8 |
Тип охлаждения, Стандартный | вода |
Расход охлаждающей воды (л / мин) | 1 |
Температура охлаждающей воды (℃) | 20 |
Подключение питания: напряжение (V AC) | 220 |
Модель контроллера | CXF-1400 |
Вес (кг) | 50 (ISO-K / F) 52 (CF) |
Контактное лицо: sales
Телефон: +8613810212935