KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Научные приборы Innovating

Переростать в первоклассные предприятия

Главная страница ПродукцияНасос Turbomolecular

Магнитно Levitated вибрация CXF-320/3000E вакуумного насоса Turbomolecular низкая

Сертификация
Китай KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Сертификаты
Китай KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Сертификаты
Оставьте нам сообщение

Магнитно Levitated вибрация CXF-320/3000E вакуумного насоса Turbomolecular низкая

large.img.alt
small.img.alt

Большие изображения :  Магнитно Levitated вибрация CXF-320/3000E вакуумного насоса Turbomolecular низкая

Подробная информация о продукте:
Место происхождения: Китай
Фирменное наименование: KYKY
Сертификация: CE
Номер модели: CXF-320/3000E
Оплата и доставка Условия:
Количество мин заказа: 1
Упаковывая детали: Деревянная коробка для международной пересылки
Время доставки: 4weeks
Условия оплаты: T/T, L/C
Подробное описание продукта
Скорость откачки: N2 3000L/s Регулятор: внешний
Фланец: ISO-F Охлаждать: вода
Высокий свет:

насосы turbo молекулярные

,

вакуумный насос turbo

Maglev Pump, CXF-320 / 3000E, Waterr, ISO-F, внешний контроллер

Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, чей вал поддерживается магнитной силой.

Серийные молекулярно-левитированные молекулярные насосы - это оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.

Электромагнитный подшипник также называют «активными магнитными левитированными медведями», состоящими из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Эта конструкция имеет динамический отклик и своевременную регулировку, высокоскоростной вал и надежную работу.

Преимущества:

1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление

2. Легко получить действительно чистый высокий вакуум и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов

3. Способен извлекать едкие газы на длительный срок

4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с помощью прецизионных керамических шариков.

5. функция генерации энергии при внезапном отключении питания

6. без трения

7. Без загрязнения

8. Без обслуживания

9. Низкая вибрация

10. устанавливается в любой ориентации.

технологии:

  • Технология управления для магнитного подшипника: 5-осевая магнитная левитация. Эта конструкция может иметь динамический отклик и своевременную регулировку с помощью динамической технологии управления активной замкнутой магнитной подвеской, основанной на передовой международной теории управления, чтобы гарантировать такие существенные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
  • Технология управления приводом двигателя: Высокопроизводительный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются к насосам с последовательной магнитной подвеской, чтобы иметь максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежная работа и функция автоматического регулирования динамической энергии.
  • Углеродные композитные роторные технологии. Турботоры серийных магнитных подвесных молекулярных насосов изготавливаются путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению со всеми роторами из алюминиевого сплава турбо-роторы отличаются значительным уменьшением веса и значительным улучшением прочности, благодаря чему достигаются цели с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
  • Устойчивая к коррозии технология: Поверхности деталей в камерах серийных магнитных суспензионных молекулярных насосов обрабатываются специальным способом, так что поверхности могут длительное время противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполнены в валу насосов для защиты деталей низкого вакуума в насосах, так что реализуется функция стабильного выпуска агрессивных газов в течение длительных периодов времени.
  • Система контроля температуры нагрева: Серийные молекулярные насосы с магнитной левитацией оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, так что охлаждающая вода, воздушный нагрев, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, можно контролировать и контролировать во время работы, температуру в Насосы могут поддерживаться на определенном уровне в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не преобразуются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, и могут быть выполнены требования для специального процесса, такого как травление.

Характеристики:

Фланец (В) DN250 ISO-F
Фланец (Out) KF DN50
Скорость откачки (л / с) N 2 : 3000
Ar: 2750
Он: 2300
H 2 : 1100
Степень сжатия N 2 : 10 8
Ar: 10 8
Он: 10 4
H 2 : 10 3
Предельное давление (Па) CF: 1 × 10 -6
ISO-K / F: 6 × 10 -6
Максимум. Непрерывное форвакуумное давление (Па) 40
Максимум. Форвакуумное давление N 2 : 290
Газ по всему (м.кв.) N 2 : 5800
Ar: 2200
Он: 4300
H 2 : 3100
Скорость вращения (об / мин) 21000
Время запуска (мин) ≤18
Тип охлаждения, Стандартный вода
Расход охлаждающей воды (л / мин) 1
Температура охлаждающей воды (℃) 20
Подключение питания: напряжение (V AC) 220
Модель контроллера CXF-3000
Вес (кг) 70

Приложения:

Серийные магнитно-левитированные молекулярные насосы в основном применяются в областях производства полупроводников, зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре.

Контактная информация
KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Контактное лицо: sales

Телефон: +8613810212935

Оставьте вашу заявку (0 / 3000)