Высоковакуумный ионный насос Вариан удобный в эксплуатации 420Л/С Воздух 85Л/С Ар

Ионный насос, 3L-400C, DN150CF, 420 л/с воздуха, 85 л/с Ar, -5 кВ

Распылительный ионный насос — это оборудование для создания вакуума, позволяющее получить чистый и сверхвысокий вакуум. Ионный насос работает в закрытой системе, не требующей непрерывной работы форвакуумного насоса.

Преимущества:

Эта серия насосов имеет такие преимущества, как чистота, высокая степень вакуума, нулевой шум, нулевая вибрация и удобство в эксплуатации.

Приложения:

Ионный распылительный насос является основным насосом безмасляной установки сверхвысокого вакуума и может применяться в аппаратах для научных экспериментов, таких как ускоритель частиц высокой энергии, аппарат для управляемой термоядерной реакции, электровакуумное устройство, полупроводниковый материал, электронный микроскоп и масс-спектрометр, а также другое промышленное оборудование, требующее сверхвысокого вакуума.

Принцип:

Материал анода — корпус из нержавеющей стали, материал катода — пластина из титана. Процесс Пеннинговского разряда ионизирует газ под совместным действием магнитного и электрического полей, тем самым осуществляя истощение газа.

Триодный ионный насос усовершенствован для увеличения скорости откачки инертного газа; ионы инертного газа подвергаются скользящему падению на титановую сетку катода, затем нейтрализуются и отражаются от стенки насоса и анода для захоронения в титановой пленке. Поскольку инертный газ, находящийся в стенке насоса, не будет выделяться из-за бомбардировки положительными ионами, скорость откачки инертного газа увеличивается.

Технические характеристики: