Научные приборы Innovating
Переростать в первоклассные предприятия
|
Подробная информация о продукте:
Оплата и доставка Условия:
|
| Resolution: | SE：3nm@30KV，8nm@3kV； BSE ：4nm@30KV | Magnification: | 1x-450000x |
|---|---|---|---|
| Specimen Stage: | Five axes stage | Electron Gun: | Pre-aligned tungsten filament |
| Выделить: | электронный кинескоп sem,машина sem |
||
Как Kyky за 60-летний опыт производства SEM, вся серия EM поддерживает отремонтированную и индивидуальную систему старой системы как SEM+, такая как реконструкция литографии электронной луча, обновление LAB6, интегрированная с STM, AFM, этап нагрева; крио-стадия; этапа Tensile;
Advanteges:
◆ Дополнительные модули с низким вакуумом (LVSE, LVBSE)
◆ богатые функции автоматизации
◆ Настройка столбца/камеры/электрической системы
◆ Необязательную камеру большого размера
◆ Широкая полевая навигационная камера
◆ богатые расширяющиеся вложения
Технические характеристики:
| Элемент | EM6910 вольфрамовый филамент SEM | |
| Разрешение | SE: 3NM@30KV, 8NM@3KV ； BSE: 4NM@30KV | |
| Увеличение | 1x-450000x | |
| Электронный пистолет | Предварительно выровненная вольфрамовая нить | |
| Ускорение напряжения |
0,2 кВ-30 кВ
|
|
|
Вакуумная система
|
Турбо -молекулярный насос +механический насос
|
|
| Объективная апертура | Регулируемая вакуумная система молибдена. | |
| Стадия образца | Пять топоров стадии | |
| Путешествовать | X (Авто) | 0 ~ 80 мм |
| Диапазон | Y (Авто) | 0 ~ 50 мм |
| Z (ручное) | 0 ~ 30 мм | |
| R (Руководство) | 360 ° | |
| T (ручное) | -5 ° ~ 70 ° | |
| Максимальный диаметр образца | 175 мм | |
| Детектор |
Вторичный электронный детектор
|
|
|
Полупроводник детектор BSE ※
|
||
|
Инфракрасный ПЗС
|
||
| Низкий вакуум SED ※/ низкий вакуум BSED ※
|
||
| Модификация | Обновление сцены; EBL; STM; АСМ; Стадия нагрева; Крио этапа; Растяжение сцены; Микронано-манипулятор; SEM+Машина для покрытия; SEM+Лазер | |
| Аксессуары | Lab6, рентгеновский детектор (Eds), EBSD, CL, WDS, машина для покрытия | |
|
Низкая вакуумная функция ※
|
Вакуумный уровень 10-270PA SE: 4NM@30KV, 50pa
|
|
Контактное лицо: Ms. Wang He
Телефон: 86-10- 82548271
Факс: 86-010-62564613
