Магнитно Levitated Turbopumps и насосные системы CXF-250/2301E

Maglev Pump, CXF-250 / 2301E, Водяное охлаждение, Бортовой

Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, чей вал поддерживается магнитной силой.

Серийные молекулярно-левитированные молекулярные насосы - это оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.

технологии:

• Технология управления для магнитного подшипника: 5-осевая магнитная левитация, основанная на передовой международной теории управления, для обеспечения таких значительных преимуществ высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
• Технология управления приводом двигателя: Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающие максимальную энергию двигателя и автоматически компенсирующие скорость вращения вала, обеспечивая тем самым стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии. ,
• Углеродная композитная роторная технология: изготовлена ​​путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. характеризуется значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, благодаря чему достигаются цели с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
• Устойчивая к коррозии технология: Поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, инертные газы, такие как N2, полностью заполнены в валу насосов для защиты деталей низкого вакуума в насосах, так что обеспечивается функция стабильного выпуска агрессивных газов в течение длительных периодов времени.
• Система контроля температуры нагрева: оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры, во время работы можно контролировать и контролировать тепло, переносимое защитными газами, охлаждающую воду, нагрев воздуха, переносимый защитными газами, температуру в насосах можно поддерживать на некотором уровне В долгосрочной перспективе некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, и могут быть соблюдены требования к специальному процессу, например травлению.

Приложения:

Серийные магнитно-левитированные молекулярные насосы в основном применяются в областях производства полупроводников, зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре.

Характеристики: