Maglev Pump, CXF-320 / 3001E, Водяное охлаждение, ISO-F, Бортовой
Электромагнитный подшипник также называют «активными магнитными левитированными медведями», состоящими из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Эта конструкция имеет динамический отклик и своевременную регулировку, высокоскоростной вал и надежную работу.
Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, чей вал поддерживается магнитной силой.
Серийные молекулярно-левитированные молекулярные насосы - это оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.
Преимущества:
1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление
2. Легко получить действительно чистый высокий вакуум и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов
3. Способен извлекать едкие газы на длительный срок
4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с помощью прецизионных керамических шариков.
5. функция генерации энергии при внезапном отключении питания
6. без трения
7. Без загрязнения
8. Без обслуживания
9. Низкая вибрация
10. устанавливается в любой ориентации.
Приложения:
Серийные магнитно-левитированные молекулярные насосы в основном применяются в областях производства полупроводников, зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре.
Характеристики:
| модель | CXF-320/3001 |
| Скорость насоса (л / с, воздух) | 3200 |
| Степень сжатия | > 1 × 10 8 |
| Предельный вакуум (Па) | ≤5 × 10 -7 |
| Впускной фланец | ISO-F 320 |
|
|
| Выходной фланец | KF 40 |
| Скорость вращения (об / мин) | 24000 |
| Время запуска (мин) | 12 |
| VIB (мм) | <0,05 |
| Поддерживающий насос (л / с) | 15 |
| Монтаж или презентация | любой |
| Метод охлаждения | вода |
| Вес (кг) (с контроллером) | 75 |
технологии:
- Технология управления для магнитного подшипника: 5-осевая магнитная левитация, основанная на передовой международной теории управления, для обеспечения таких значительных преимуществ высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
- Технология управления приводом двигателя: Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающие максимальную энергию двигателя и автоматически компенсирующие скорость вращения вала, обеспечивая тем самым стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии. ,
- Углеродная композитная роторная технология: изготовлена путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. характеризуется значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, благодаря чему достигаются цели с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
- Устойчивая к коррозии технология: Поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, инертные газы, такие как N2, полностью заполнены в валу насосов для защиты деталей низкого вакуума в насосах, так что обеспечивается функция стабильного выпуска агрессивных газов в течение длительных периодов времени.
- Система контроля температуры нагрева: оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры, во время работы можно контролировать и контролировать тепло, переносимое защитными газами, охлаждающую воду, нагрев воздуха, переносимый защитными газами, температуру в насосах можно поддерживать на некотором уровне В долгосрочной перспективе некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, и могут быть соблюдены требования к специальному процессу, например травлению.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
