|
Подробная информация о продукте:
Оплата и доставка Условия:
|
Подшипник: | Магнитный | Скорость откачки: | N2 3200L/s |
---|---|---|---|
Охлаждать: | Вода | Фланец: | ISO-F |
Регулятор: | На борту | ||
Выделить: | насосы turbo молекулярные,turbomolecular вакуумный насос |
Maglev Pump, CXF-320 / 3001E, Водяное охлаждение, ISO-F, Бортовой
Электромагнитный подшипник также называют «активными магнитными левитированными медведями», состоящими из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Эта конструкция имеет динамический отклик и своевременную регулировку, высокоскоростной вал и надежную работу.
Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, чей вал поддерживается магнитной силой.
Серийные молекулярно-левитированные молекулярные насосы - это оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.
Преимущества:
1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление
2. Легко получить действительно чистый высокий вакуум и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов
3. Способен извлекать едкие газы на длительный срок
4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с помощью прецизионных керамических шариков.
5. функция генерации энергии при внезапном отключении питания
6. без трения
7. Без загрязнения
8. Без обслуживания
9. Низкая вибрация
10. устанавливается в любой ориентации.
Приложения:
Серийные магнитно-левитированные молекулярные насосы в основном применяются в областях производства полупроводников, зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре.
Характеристики:
модель | CXF-320/3001 |
Скорость насоса (л / с, воздух) | 3200 |
Степень сжатия | > 1 × 10 8 |
Предельный вакуум (Па) | ≤5 × 10 -7 |
Впускной фланец | ISO-F 320 |
Выходной фланец | KF 40 |
Скорость вращения (об / мин) | 24000 |
Время запуска (мин) | 12 |
VIB (мм) | <0,05 |
Поддерживающий насос (л / с) | 15 |
Монтаж или презентация | любой |
Метод охлаждения | вода |
Вес (кг) (с контроллером) | 75 |
технологии:
Контактное лицо: Ms. Wang He
Телефон: 86-10- 82548271
Факс: 86-010-62564613