Подробная информация о продукте:
Оплата и доставка Условия:
|
Смазка: | Maglev | Фланец: | ISO-K/CF |
---|---|---|---|
охлаждать: | Вода | Скорость откачки: | N2 2300L/s |
Высокий свет: | насосы turbo молекулярные,turbomolecular вакуумный насос |
Насос Маглева, CXF-250/2300, ISO-K / CF, водяное охлаждение, внешний контроллер
Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, вал которых поддерживается за счет магнитной силы, отвечая требованиям применения в областях современного производства полупроводников, изготовления микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.
технологии:
Преимущества:
Эти насосы имеют такие преимущества, как нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление, простота приобретения действительно чистого высокого вакуума и сверхвысокого вакуума без смазки для насосов, возможность извлечения агрессивных газов в течение длительного срока, высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с точными керамическими шариками и функцией выработки энергии в случае внезапного отключения питания. Он имеет такие свойства, как отсутствие трения, загрязнения и технического обслуживания, а также низкий уровень вибрации и может быть установлен в любой ориентации.
Приложения:
Извлечение агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, которые легко коагулируются при нормальной температуре в областях производства полупроводников, изготовления зажимов, промышленного покрытия и научных инструментов.
Спецификация:
Фланец (В) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Фланец (Out) KF | DN40 |
Скорость откачки (л / с) | N 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
Он: 1900 | |
H 2 : 850 | |
Степень сжатия | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Он: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Предельное давление (Па) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Максимум. Непрерывное форвакуумное давление (Па) | 60 |
Максимум. Форвакуумное давление | N 2 : 250 |
Газ по всему (м.кв.) | N 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Он: 2800 | |
H 2 : 2100 | |
Скорость вращения (об / мин) | 27000 |
Время запуска (мин) | ≤11 |
Тип охлаждения, Стандартный | вода |
Расход охлаждающей воды (л / мин) | 1 |
Температура охлаждающей воды (℃) | 20 |
Подключение питания: напряжение (V AC) | 220 |
Модель контроллера | CXF-2300 |
Вес (кг) | 59 (ISO-K / F) 62 (CF) |
Контактное лицо: sales
Телефон: +8613810212935